北京時(shí)間03月12日消息，中國觸摸屏網(wǎng)訊，1. OLED蒸鍍技術(shù)團(tuán)隊(duì)入選“廬州產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)”

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國產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī)始終是突破行業(yè)之痛的關(guān)鍵所在，合肥欣奕華也一直在裝備國產(chǎn)化的道路上不斷努力。日前，中共合肥市委組織部發(fā)布了《2019年度合肥市“領(lǐng)軍人才”“廬州英才”“廬州產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)”擬入選名單公示》。合肥欣奕華智能機(jī)器有限公司“OLED蒸鍍系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)”入選2019年合肥市“廬州產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)”（A檔）。

 

自古廬州多才俊，“廬州產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)”同樣要求企業(yè)及其團(tuán)隊(duì)必須在相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域有真材實(shí)料，所研發(fā)創(chuàng)新項(xiàng)目需要在技術(shù)上具有先進(jìn)性，能夠填補(bǔ)國內(nèi)空白或處于國際先進(jìn)、國內(nèi)領(lǐng)先水平，并具有良好的產(chǎn)業(yè)化前景。

此次入選的OLED蒸鍍技術(shù)團(tuán)隊(duì)所研發(fā)的OLED蒸鍍機(jī)是OLED面板產(chǎn)線的核心設(shè)備，猶如OLED面板制程的心臟，因而對(duì)精密制造水平要求極高，長期被日韓企業(yè)所壟斷。目前全球?qū)嵙ψ顝?qiáng)的OLED蒸鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)商TOKKI, YAS, SNU, SNF 等企業(yè)皆來自日韓，其中TOKKI的技術(shù)實(shí)力遠(yuǎn)超過其他設(shè)備廠商，處于全球領(lǐng)先地位。但是由于TOKKI 產(chǎn)量不足，許多面板廠迫于市場(chǎng)產(chǎn)能指標(biāo)壓力紛紛退而求其次選擇其他OLED設(shè)備供應(yīng)商供貨，使得全球OLED面板設(shè)備行業(yè)依舊充滿活力和競(jìng)爭(zhēng)力。

對(duì)于發(fā)展前景向好的OLED行業(yè)來說，蒸鍍工藝絕對(duì)扮演著制約良品率高低的關(guān)鍵性角色。所謂OLED蒸鍍，就是通過真空蒸鍍機(jī)能夠?qū)�OLED有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)、均勻、可控地蒸鍍到玻璃基板上。蒸鍍機(jī)及蒸鍍工藝是OLED屏生產(chǎn)過程中難度最高的環(huán)節(jié)之一。蒸鍍機(jī)之所以難造，一方面由于對(duì)設(shè)備制造水平要求極高，另一方面因?yàn)檫@個(gè)設(shè)備是一個(gè)龐然大物。其真空生產(chǎn)線長約有100 米，設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)相當(dāng)于大型電視屏幕的玻璃面板透過機(jī)械臂在幾個(gè)工廠之間移動(dòng)。行業(yè)共識(shí)，面板廠只有擁有了高性能的真空蒸鍍機(jī)，才算是真正拿到了OLED屏生產(chǎn)的入場(chǎng)券。合肥欣奕華長久以來的努力，也正是致力于在發(fā)展如火如荼的OLED顯示產(chǎn)業(yè)，讓面板企業(yè)獲得這張至關(guān)重要的入場(chǎng)券。

 

合肥欣奕華于2015年正式啟動(dòng)了OLED蒸鍍系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目，現(xiàn)已突破多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)，且自主開發(fā)了第一款國產(chǎn)化OLED蒸鍍機(jī)（G1型），并通過了安徽省新產(chǎn)品鑒定。公司建成了3萬平米的OLED蒸鍍機(jī)研制潔凈車間，擁有各類先進(jìn)研發(fā)設(shè)備和儀器20余臺(tái)套，組建了一支國際化高端人才團(tuán)隊(duì)，形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系，在蒸發(fā)源、真空腔體、高精密對(duì)位、封裝、工藝控制技術(shù)等方面，相關(guān)技術(shù)水平已達(dá)到國際先進(jìn)水平，逐步追趕國外領(lǐng)先OLED設(shè)備制造企業(yè)。

截至目前，合肥欣奕華已與國內(nèi)多家單位（包括高校實(shí)驗(yàn)室、器件制造企業(yè)、材料制造企業(yè)等）簽訂了OLED蒸鍍?cè)O(shè)備采購或技術(shù)服務(wù)合同，并已完成了產(chǎn)品交付和技術(shù)驗(yàn)收；另外，公司研制的OLED蒸鍍機(jī)核心部件已成功導(dǎo)入國內(nèi)主要OLED面板制造企業(yè)的生產(chǎn)線，且已成功應(yīng)用于客戶量產(chǎn)。下一步，欣奕華將根據(jù)客戶需求與計(jì)劃，進(jìn)行更深入、更全面的技術(shù)合作，為我國OLED面板制造企業(yè)提供國產(chǎn)化高性能的蒸發(fā)源系統(tǒng)、對(duì)位系統(tǒng)及量產(chǎn)型蒸鍍機(jī)等產(chǎn)品。

2. 合肥萊德設(shè)備成功研發(fā)真空蒸鍍機(jī)，填補(bǔ)OLED生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)國內(nèi)空白

在合肥合巢經(jīng)開區(qū)合肥萊德設(shè)備技術(shù)有限公司的廠房里，公司董事長孔令杰博士指著幾臺(tái)樣機(jī)告訴記者，他們已成功研制出從事OLED生產(chǎn)所必需的核心設(shè)備真空蒸鍍機(jī)，填補(bǔ)了國內(nèi)在這個(gè)領(lǐng)域的空白。

真空蒸鍍機(jī)是OLED生產(chǎn)的核心設(shè)備，在生產(chǎn)OLED屏的過程中，要通過真空蒸鍍機(jī)將OLED有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)、均勻、可控地蒸鍍到玻璃基板上，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn)。蒸鍍機(jī)及蒸鍍工藝是OLED屏生產(chǎn)過程中難度最高的環(huán)節(jié)之一，可以說，擁有了高性能的真空蒸鍍機(jī)才算是真正拿到了OLED屏生產(chǎn)的入場(chǎng)券。

目前，全球的高端蒸鍍機(jī)主要由日韓企業(yè)等壟斷。孔令杰表示，OLED蒸鍍機(jī)設(shè)備目前處于極度供不應(yīng)求的狀態(tài)，尤其是國內(nèi)面板廠商對(duì)于高端蒸鍍機(jī)的需求一直難以得到滿足，想要買一臺(tái)Tokki的產(chǎn)品，不僅價(jià)格極高，交付周期還很長，服務(wù)也得不到保障。“我們集結(jié)了OLED行業(yè)內(nèi)面板廠、設(shè)備廠和材料廠等多位資深專家進(jìn)行攻關(guān)，終于打破國外高端蒸鍍機(jī)的壟斷，研制出了性價(jià)比高的OLED真空蒸鍍機(jī)。”孔令杰透露，目前他們已經(jīng)接到幾個(gè)國內(nèi)大型OLED面板制造企業(yè)的意向訂單，預(yù)計(jì)明年年中設(shè)備可以下線出貨。

3. 中山凱旋真空科技這家國內(nèi)企業(yè)宣稱研發(fā)出OLED蒸鍍機(jī)

OLED手機(jī)屏的生產(chǎn)環(huán)節(jié)主要包括五大步驟，分別是LTPS、蒸鍍、封裝、單元、模塊。其中，蒸鍍是至關(guān)重要的一步，簡單說”蒸鍍”就是用專門的蒸鍍機(jī)在玻璃基板上“蒸出”包括紅、綠、藍(lán)三色的有機(jī)發(fā)光層。

然而，全世界能夠生產(chǎn)高質(zhì)量蒸鍍機(jī)的企業(yè)少之又少，僅有少數(shù)日、韓企業(yè)能夠生產(chǎn)出滿足產(chǎn)業(yè)界要求的高端OLED蒸鍍機(jī)。我國OLED領(lǐng)域的痛中之痛就是沒有“自主的蒸鍍機(jī)”。

為了解決蒸鍍機(jī)這個(gè)痛點(diǎn)和難題，一家廣東的國有企業(yè)——中山凱旋真空科技股份有限公司通過幾年的不懈努力，終于研發(fā)出了擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的OLED蒸鍍機(jī)。據(jù)悉該機(jī)型命名為K-200，為OLED蒸鍍領(lǐng)域的一代線，填補(bǔ)了國內(nèi)自主OLED蒸鍍機(jī)的空白。該機(jī)型采用團(tuán)簇式布局，蒸鍍基板尺寸為200*200mm2或者8 inch硅片，搭載精密對(duì)位系統(tǒng)，對(duì)位精度可達(dá)到1um（甚至以下），可配置3cc到40cc金屬及有機(jī)各類蒸發(fā)源共8種，可以廣泛用于OLED手機(jī)屏、VR顯示屏、OLED白光照明面板的生產(chǎn)及研發(fā)。

K-200蒸鍍機(jī)

據(jù)專業(yè)人士透露，該機(jī)型的精密等級(jí)在整個(gè)行業(yè)內(nèi)應(yīng)該算非常領(lǐng)先的，毫不遜色日、韓廠商生產(chǎn)的同類機(jī)型。而且該機(jī)型蒸發(fā)源的設(shè)計(jì)有著很多獨(dú)特的“know how”，可以獲得很高的薄膜沉積均勻性和重復(fù)性。并且該機(jī)的控制軟件系統(tǒng)也非常智能和美觀，相比日、韓生產(chǎn)的增添了很多獨(dú)特新穎的功能。

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