北京時間02月13日消息，中國觸摸屏網訊，傳臺積電今年將購入18臺EUV光刻機。臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺，加上之前采購的幾臺，臺積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產，推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9％提升到25％。

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目前，ASML現款EUV光刻機Twinscan NXE： 3400B報價約1．2億美元（約合8億人民幣），也就是說臺積電訂購的這18臺EUV光刻機總價接近150億元。

此外，臺積電還計劃在今年第二季度啟動5nm工藝的風險試產，值得注意的是，5nm必須采用EUV工藝才能夠實現。

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